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专注20年，让afm“更快速、更准确、更智能”——牛津仪器asylum research高层访谈

仪器信息讯2019年8月日，第八届中国国际纳米科技会议(chinanano 2019)在北京举行。会议吸引了来自全球40多个国家和地区的2500余名从事纳米科技研究的院士、专家、青年学者及企业精英参会开展科学交流。

chinanano 2019大会现场

作为chinanano 2019的赞助解码机商，牛津仪器携旗下原子力显微镜部门(asylum research，以下简称ar)亮相此次大会。会议间隙，在牛津仪器展位，仪器信息就ar业务部门产品研发及市场动向，与ar全球总裁terry ha且其医疗保健系统正在发展当中还没有成熟nnon博士、亚太区副总裁david beck博士、产品经理marta kocun博士以及中国区大区经理刘方博士进行了现场交流。

牛津仪器展位现场

专注afm研究20载，产品创新从高性能到广用途

ar成立于1999年4月1日，2012年加入牛津仪器，且加入牛津仪器之前就已经在中国开展了业务。今年是部门成立的20周年，20年来，ar一直专注于原子力显微镜的研究，部门员工从最开始的三个创始人发展到现在的近百人，从事中国业务的人员也从一个人发展到十几人。david beck介绍到，“至chinanano 2019，已经是牛津仪器ar第七次参加chinanano，每次参会a以此确保提高公路的耐用性r都会带来具有革命性意义的新产品、新技术。”

ar创立之初的第一款产品mfp-1d是最早的具有闭环扫描器的产品，解决了当时市场上的原子力显微镜都无法精准地测量力曲线的弊病。2007年，ar推出了快速扫描产品cypher，那时候大家扫一幅afm图像普遍需要几分钟甚至十几分钟，市场上也没有出S=0.002mm现所谓快速扫描原子力显微镜的概念，cypher的推出把扫描速度提高了几十倍，线速度可以达到几十赫兹。2017年牛津仪器正式推出了cypher vrs，这是市场上第一款全功能的视频级扫描原子力显微镜，其将afm的扫描速度又提高了一个数量级，最快可以实现超过10幅每秒的帧速度，让使用者可以进行纳米尺度下的原位动态的研究，这是一个巨大的进步。

“今年推出的jupiter，是一款大样品台原子力显微镜。无论是分辨率、自动化程度、扫描精度、还是扫描速度，它都领先于市场上的同类产品，且jupiter可以兼顾学术和工业研究的需求。” marta kocun说到，“工业界的样品尺寸一般都比较大，无法切割。之前很多客户对我们的产品性能很满意，但是出于样品尺寸方面的考量，放弃了我们的产品，jupiter的推出解决了这个问题。”

牛津仪器ar原子力显微镜

(左: mfp-3d; 中: cypher vrs; 右: 本次展出的jupiter xr)

技术创新为基础，拓宽afm应用领域从学术至工业

“如果你看我们技术发展历程的话，会发现牛津仪器ar一直引领着原子力显微镜市场的技术革新。”terry hannon说到，“牛津仪器ar把产品带到了chinanano 2019现场进行操作展示，这说明我们对自己的产品非常有信心。原子力显微镜对稳定性和噪音有很高的要求，一般需要一个安静的运行环境，而牛津仪器ar的产品在这样一个较为嘈杂的环境下仍可以工作，足以证明ar产品的技术能力和水平。”

ar以前的客户主要集中在高尖端科研和工业研发领域，通过推出配备大样品台的快速扫描原子力显微镜，客户也从学术研究拓展到了工业生产、检测等更多的领域。terry hannon表示，“其实公司新款产品的推出就是要从学术走到更广阔的应用前景，我们要把原子力显微镜的使用场景扩得更大，让更多的人用到牛津仪器ar的先进技术。”

牛津仪器不只有原子力显微镜部门，还有等离子体部门、能谱部门等。“在研发jupiter这款产品的时候，ar就跟等离子体部门有很20%点位完成好的合作，深挖了半导体领域的需求，并针对需求进行产品的研发和制定。”marta kocun说到，“我们有很强的技术，并将这些技术优势转变为针对半导体领域的具体的解决方案。其实工业界更关心是准确性、重复性、以及长效性。牛津仪器ar在新推出的jupiter xr上面做了测试，用同一根探针连续扫描一千次，最终的结果显示，测得的表面粗糙度的误差小于1%，这样的一致性对工业领域是非常重要的。ar提供的仪器和技术能够让半导体领域客户在高效使用设备的同时，获得准确而可重复的测量数据。”

交流现场

中国市场需求向上，未来将持续加大投收发器入

“中国是一个发展相对迅猛的市场，由于政府和企业越来越重视研发的投入，中国对高科技设备的需求也在逐年增长。”terry hannon讲到，“所以牛津仪器非常重视中国的市场，对中国市场也做了持续的投入。”

“就像白春礼院长在chinanano 2019开幕式上讲的，中国的纳米科技已经在世界上领先，其中很多领域都处于引领地位。牛津仪器不仅可以提供技术一流的仪器产品，同时也有非常优秀的、有资深专业背景的工程师团队，能够支持客户最大限度地利用仪器。公司用心培养专业的技术团队，帮助中国用户掌握先进的afm技术，在这个层面上也体现出了对中国市场的重视。”terry hannon说到。

更多潜在市场需求有待开发，牛津仪器ar致力让afm“更快速、更准确、更智能”

marta kocun谈到，“如果看到我们最新的仪器，会发现跟几十年前的产品有很大的不同。跟以前的产品相比，它的主要部件、驱动方式、检测系统都有了显著的发展。比如牛津仪器ar推出的bluedrive光热激发轻敲模式，就是彻底改变了传统压电陶瓷驱动方式，大大提高了测量的稳定性和准确性。再比如牛津仪器ar近期推出的干涉位移传感系统（ids），其最大优势玩具包装是可以避免传统光杠杆所带来的误差，能够实现洗衣粉探针运动的精确测量。”

虽然原子力显微镜市场在逐年增长，但它还是有很大的增长空间。对此，terry hannon表示，“原子力显微镜具有自己独一无二的特点，能做别的技术做不了的事。牛津ar的愿景就是要把原子力显微镜做得更快速、更准确、更智能，使得原子力显微镜为更多人所认识，让更多的人可以直接使用。”

牛津仪器ar高层与本次展出的jupiter xr

(左至右: terry hannon博士; david beck博士; marta kocun博士; 刘方博士)

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